何为气体传感器？

气体传感器是一种气敏装置，能将被测气体浓度转换为与其成一定关系的电量输出的装置或器件，广泛应用于智能家居、汽车电子、消费电子、可穿戴设备、医疗、工业过程、环境监测等行业。

根据传感器的气敏材料以及气敏材料与气体相互作用的机理和效应不同，主要可以分为半导体式、固体电解质式、电化学式、接触燃烧式、

光学式及热导式等传感器类型。今天我们来重点讲讲半导体气体传感器。

半导体气体传感器的种类有哪些?

按照半导体变化的物理特性，可分为电阻型和非电阻型。按照半导体与气体相互作用时产生的变化只限于半导体表面或深入到半导体内部，又可分为表面控制型和体控制型。

半导体气体传感器是如何感知气体存在的?

半导体气体传感器是利用半导体气敏元件和气体接触，造成气敏元件本身的电导率发生变化这一机理来进行检测的器件。电阻型半导体气体传感器是用金属氢化物材料制作的敏感元件，利用其阻值的变化来检测气体的浓度。

气敏电阻结构示意图

气敏器件阻值-浓度关系

非电阻型半导体气敏元件是利用其它参数，如二极管伏安特性和场效应晶体管的阈值电压变化来检测被测气体的。

非电阻型气敏器件结构示意图

Pd-Ti口2二极管的l-V特性(25℃)

如何评判半导体气体传感器的性能?

在半导体气体传感器研究的早期阶段，利用I-V特性分析技术，可以简化半导体气体传感器的合格验证。半导体气体传感器根据材料的不同，其阻值跨度大﹐覆盖Ω~GΩ范围。针对不同气敏材料的半导体气体传感器进行测试，需要有高效的检测方案。

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①实时测试多种材料在同一气体条件下的电阻值反应灵敏度

②在低电压下进行高范围跨度(Ω、KΩ、MΩ、GΩ)的电阻测量，测试设备输入电阻要求高

③I-V曲线扫描

④支持≤40通遒气敏电阻R/t特性测试，并可记录存档。

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-半导体气体传感器/固体电解质气体传感器/电化学气体传感器/接触燃烧式气体传感器/光学气体传感器/热导式气体传感器性能验证

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-压力传感器/MEMS传感器/温湿度传感器等

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