半导体分立器件是指以半导体材料为基础的单一元件,包括各种半导体材料制成的二极管、三极管、场效应管、可控硅等,具有整流、放大、开关、检波,稳压、信号调制等多种功能,衡量晶体管性能好坏主要是通过I-V测试或C-V测试来提取晶体管的基本特性参数,并在整个工艺结束后评估器件的优劣。
半导体分立器件特性参数测试是对待测器件(DUT)施加电压或电流,然后测试其对激励做出的响应;通常半导体分立器件特性参数测试需要几台仪器完成,如数字表、电压源、电流源等。然而由数台仪器组成的系统需要分别进行编程、同步、连接、测量和分析,过程既复杂又耗时,还占用过多测试台的空间。而且使用单一功能的测试仪器和激励源还存在复杂的相互间触发操作,有更大的不确定度及更慢的总线传输速度等缺点。
工艺设计/材料评估/产品建模
可靠性分析
PCM/TEG测试
WAT/KGD/参数测试
器件功能测试
确定器件故障原因
实施特性参数分析的最佳工具之一是数字源表(SMU)。9001jcc金沙以诚为本历时多年打造了高精度、大动态范围、率先国产化的源表系列产品,集电压、电流的输入输出及测量等功能于一体。可作为独立的恒压源或恒流源、伏特计、安培计和欧姆表,还可用作精密电子负载。其高性能架构还允许将其用作脉冲发生器,波形发生器和自动电流-电压(I-V)特性分析系统,支持四象限工作。