1、MPD晶圆测试
测试设备:脉冲源表P300+探针台
异常现象:测试中存在一个3nA左右的漏电流
图:异常测试曲线图 异常原因:测试现场的连接线屏蔽层接地不达标,外界电磁环境的作用下使设备对大地的电位发生变化,造成设备工作不稳定 优化措施:将屏蔽层接地 图:优化后测试曲线图 2、三极管测试 测试设备:2台直流源表S300+探针台 异常现象:源表输出0-3V的电压扫描,当输出的电压小于0.5V时,源表回读的电压值为-0.5V 图:异常测试结果 异常原因:探针台没有接地,探针台结构上存在金属,在带电的环境下会存在静电,从而对测试结果带来影响 优化措施:将探针台通过导线接入大地 3、芯片测试 测试设备:直流源表S300+探针台 异常现象:源表未输出,探针冒火花
图:异常测试-探针冒火花
异常原因:三同轴线缆GUARD信号悬空。GUARD信号如连接正确,其电势与信号层基本一致,所以漏电很小,从而对信号起到了一定的保护作用;但是GUARD信号悬空,其与信号层的电势差较大,这样漏电较大,对信号的影响很大 优化措施:将GUARD信号接入源表,使GUARD信号起到保护作用
4、PD测试
测试设备:直流源表S300+探针台
异常现象:源表在100nA的量程下,输出-2V电压,实际显示-2.69V
图:异常测试结果
异常原因:客户使用的同轴线接触不良,探针台没有接地 优化措施:更换新的同轴线,将探针台通过导线接入大地 图:优化后测试结果